| 观察装置用于扫描电子显微镜的安装与能量传输电子图像滤波器 |
| JP2007137811 2007-5-24 发明申请 |
| 2007-8-23 |
| 要解决的问题 : 以观察光谱在确认由一样品视场不被影响的变化; 漂移或等，以及还得到一个扫描传输电子图像，即使当映射所述频谱。溶液 : 一个观察装置，用于所述扫描传输电子显微镜的电子图像是安装有一能量滤波器以衍射所述电子束能量频谱具有发送所述的电子束以照射后的样品和扫描所述的样品。所述观察装置，用于所述扫描传输电子显微镜的电子图像包括一个两维检测测量1以观察该光谱，一个电子图像检测测量2以观察该扫描传输电子图像，和一偏转测量3以选择性地分配所述电子束分别与所述二维检测测量1或到所述的电子图像检测测量2。该测量3分配所述电子束偏转到所述二维检测测量1中的每个之间的反馈扫描每个线获得该图像从所述的电子图像检测测量2，或分配该电子束到所述的电子图像检测每个中的一个线获取所述光谱测量2从所述二维检测测量1。版权 : (C)2007，inpit |
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