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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

原子力显微镜

US11675562 2007-2-15 发明申请

2007-8-23

在探针的反射面上反射测量光，利用施加在探针之间的原子力，利用施加在探针和待测构件之间的原子力，测量待测构件的表面形状。除了用于驱动探针的第一扫描器之外，还提供了用于移动光学系统的焦点位置的第二扫描器。事先获得表示第一扫描器和第二扫描器的控制量之间的相关性的位置转换数据。通过同步驱动第一和第二扫描器，使光学系统的焦点位置跟随探针，以提高测量精度。