| 显微镜装置 |
| KR1020070015225 2007-2-14 发明申请 |
| 2007-8-21 |
| 目的 : 一种显微镜装置被设置以使所述对准一个测量点的工作更容易，而不需要高精确级。结构 : 一显微镜装置包括一个观察光学系统(10)和一个聚焦检测系统(30)。该观察光学系统具有一个物镜，其被设置在靠近所述考生。所述移动装置检查该测量射线在所述考生通过所述对象的透镜，和移动所述考生和所述物镜相对以下所述的光学轴所观察的光学系统。该聚焦检测系统检测基于关于所述考生所述聚焦在所述测量射线它是反射从所述考生。所述射线的偏转装置移动所述所测量的射线检查位置围绕所述考生。kipo2007 |
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