| 扫描型探针显微镜和探针移动控制方法及其 |
| KR1020067003579 2006-2-21 发明授权 |
| 2007-8-17 |
| 所述探针尖端所述扫描探针显微镜的运动控制方法被用于提供一个扫描探针显微镜与一悬臂21具有一个探头尖端20面对样品12，一种光学杠杆型光学检测装置等。所述探针尖端之间的所述原子力等发生的测量和当所述探针尖端扫描该表面的样品该样品，和X，Y-，和Z-细运动机构23，29，和30相对位置的变化所述探针尖端和样品的，所述测量部分保持物理量恒定，而所述运动机构使所述该样品探针尖端的扫描该表面以测量该样品的表面，和改变所述探针尖端当一个运动方向接近的方向使所述探针尖端所述样品表面的方法和一种反应当所述探针尖端接触力的方向所述样品表面处的不同设定值或更多。由于这种配置，它是可能的，以保持一高测量精度和使扫描移动的一探针尖端在一种通过简单控制时，测量样品表面一部分上具有凹凸形状的测量中的一种梯度一个样品表面。 |
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