多功能悬臂,扫描探头显微镜,和用于切割对象,以被处理的方法
 
JP2006024640  2006-2-1  发明申请

2007-8-16
 
  要解决的问题 : 以从上方观察的样品,可靠地去除一个对象到被处理从一个样品表面作为观察它,通过缩短所述时间和提高作业效率需要用于该去除工作。溶液 : 一种多功能悬臂被使用以切割和除去一个对象到所述样品表面上被处理的XS1和设置有一杆部10,它被设置在这样的一种方式是,其下表面10a一种可以被对置到所述样品表面,其是曲面朝向该侧的其上表面10aB,当通过一个规定的力压向一样品S; 一叶片部分11,其是在这样的一种方式形成在一个叶片形状是其边框可以所述上表面被暴露到所述的侧在一宽度方向在所述尖端侧的所述杠杆部分和其进入到侧与在至少所述样品表面接触时,所述杆部是弯曲的; 和一个用于支撑所述基座侧夹持器部的所述杆部在一悬臂状态。所述杆部被支承在所述夹持器部分在这样的一种方式该刀片部可以进入到与所述样品表面,直到压点接触。版权 : (C)2007,&inpit
 
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