| 镜电子显微镜，和利用镜子电子显微镜检查装置 |
| JP2006027850 2006-2-6 发明申请 |
| 2007-8-16 |
| 要解决的问题 : 以提供一种用于检测一个缺陷的缺陷检查装置上形成一图案的部分一晶片在高的速度和在高精度，和通过获取一个稳定的反射镜的电子图像装置和由解决的问题，其由一镜电子显微镜获得的图像趋于以反映等电位表面的形状，以反映所述反射镜的电子，并使图像的解释会变得复杂，同时一个通用电子显微镜图像反映形状和一种样品的材料。溶液 : 按照一种图案到被测的一种结构或一对象的一个感兴趣的缺陷，以下装置所述的控制所述的反射面反射镜的电子被安装。(1)根据种类的电子源，操作条件，和所述样品上的种类的图案7到被测量，一种装置以控制电位之间的差所述的电子源1的对应到一高度所述反射镜的电子束所述反射面和所述样品7被安装。(2)一种装置以控制所述照射电子束的能量分布是通过设置安装一个能量滤波器9在一个照射系统。通过区分所述图案的尺寸和电位测试变得可能，和一个绝缘的材料样品可被观察到在一高分辨率。版权 : (C)2007，inpit |
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