| 带电粒子束的装置，扫描电子显微镜和样品的检查方法。 |
| JP2006028720 2006-2-6 发明申请 |
| 2007-8-16 |
| 要解决的问题 : 以允许用于一容易和快速选择一个检查配方的合适的用于采样从在许多检查配方。溶液 : 一计算单元14所述GUI上显示许多检测配方16。该检查配方包括一设定值用于控制一带电粒子柱照射带电粒子束以样品与许多特性值。用于显示，许多检查配方通过许多轴被设置在所述指定的坐标系统具有特性值(电荷鲁棒性，缺陷检测速度，缺陷检测精度和其它)，其具有相互的折衷关系。版权 : (C)2007，inpit |
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