| 使用扫描电子显微镜测量图案尺寸的方法 |
| US11673057 2007-2-9 发明申请 |
| 2007-8-16 |
| 为了提供一致的， 快速， 一种基于电子束模拟的高精度测量方法，通过在电子束模拟中反映CD-SEM的设备特性， 本发明公开了一种用CD-SEM测量测量目标图案的方法，该方法包括以下步骤 : 对反映设备特性和图像采集条件的各种目标图案形状进行电子束模拟； 产生SEM模拟波形； 将所创建的SEM模拟波形和对应于所创建的SEM模拟波形的图案形状信息的组合存储为库； 将所获得的实际电子显微镜图像与SEM模拟波形进行比较； 选择最接近实际电子显微镜图像的SEM模拟波形； 以及根据对应于所选择的SEM模拟波形的图案形状信息来估计测量目标图案的形状。 |
微信公众号