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扫描电子显微镜及缺陷检测装置

US11655264 2007-1-19 发明申请

2007-8-16

本发明提供了一种扫描电子显微镜，通过该扫描电子显微镜可以以高分辨率和高对比度的方式获得样品表面上的凹凸的图像。使用扫描电子显微镜获得样品图像，该扫描电子显微镜具有施加正电压以加速初级电子束的结构，在物镜上侧设有电场屏蔽板，磁场屏蔽板或电磁场屏蔽板。