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一标本外壳组件用于该检查的样品的一个非-真空环境中使用一种扫描电子显微镜。

IN539MUMNP2003 2003-5-26 发明授权

2007-8-10

一个室合适的用于使用与一种扫描电子显微镜其特征是 : inthat所述腔室形成一标本外壳组件，包括a刚性标本外壳盘具有一个孔，以限定一个封闭的样品放置体积，和电子束渗透和流体不可渗透的膜用于密封所述孔，所述膜适于承受一真空和隔离所述试样放置体积从所述的真空。