| 探针单元和原子力显微镜 |
| JP2006015812 2006-1-25 发明申请 |
| 2007-8-9 |
| 要解决的问题 : 以提供一种原子力显微镜能够校正顺序地之间的相对位移的一悬臂用于测量和一测量对象中不影响由仪器的热膨胀或收缩或所述测量对象，和由仪表振动或通过地板引起的振动等。溶液 : 所述测量悬臂7用于检测原子力测量所述测量对象的一个面形状，和校正悬臂8，9，用于检测所述测量对象所述的振动或等，是由一底座1支撑与所述相同的参考，通过各自的压电元件4-6。所述各悬臂7-9分别沿垂直方向独立地驱动通过所述压电元件4-6，在顺序以保持恒定的所述原子力产生在每个悬臂的尖端。所述压电元件4用于驱动所述测量悬臂梁7被提供有一扫描运动机构，和检测所述所测量的悬臂7之间的相对位置变化和所述测量对象，基于所述校正的位移悬臂8，9沿扫描方向固定，以正确的测量值由所述测量悬臂梁7。版权 : (C)2007，inpit |
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