| 共焦显微镜 |
| JP2006018986 2006-1-27 发明申请 |
| 2007-8-9 |
| 要解决的问题 : 以提供一个共焦显微镜，能够捕获所述的内周边表面的一个切口部分; 例如一凹槽形成在所述半导体晶片的周边边缘和一凹槽的，等，作为一种高-分辨率图像。溶液 : 一两维扫描光束是投射向所述端边缘(2)的所述半导体晶片(1)通过一个物镜透镜系统(29)。所反射的光从所述半导体晶片被冷凝由所述物镜系统(29)，然后入射在一线性图像传感器(32)，和然后该输出信号被提供给一信号处理器(40)。该端边缘的所述二维图像信号的所述半导体晶片被从所述信号处理器输出的(40)。该切口部(60a和60b)被形成在所述前端侧的所述物镜的两侧所述光学轴线上的透镜系统。通过形成该缺口部，该引导所述物镜的透镜系统进入所述内端部的所述凹口(4)，所述晶片中形成不与所述晶片的碰撞，和然后所述图像的所述的内周表面所述凹口的被成像。版权 : (C)2007，inpit |
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