| 扫描探针显微镜 |
| JP2006012860 2006-1-20 发明申请 |
| 2007-8-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜，构成以容易地执行所述光点位置当一悬臂的对准是与一暗场照明状态中的光照射，具有相对于所述物镜用于观察一个光点，或当所述光点是难以识别从所述的紫外波长或红外射线。溶液 : 在所述扫描探针显微镜，设置与该悬臂2具有一探头2a，一光源5用于该悬臂与光照射和一个光检测部分6用于检测所反射的光通过所述悬臂，一目标板8，用于观察点的所述从所述光源发出的光，被设置以提供所述所述目标板8与一循环的表面结构或一随机结构用于散射的光。版权 : (C)2007，inpit |
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