| 聚焦装置，显微镜，和聚焦处理程序 |
| JP2006010227 2006-1-18 发明申请 |
| 2007-8-2 |
| 要解决的问题 : 以自动改变聚焦高度而不释放跟踪控制，以跟踪样品。溶液 : 该聚焦装置100是配备有 : 一聚焦装置，用于改变一个相对一样品之间的距离S其表面上具有一种电平的差值和一个物镜3a; 用于形成光点的色差校正透镜9通过点的图像光投影到所述样品S一种图像形成表面上的IP; 一个光学元件的移动装置，用于移动所述色差校正透镜9; 一个光点图像检测装置，用于接收和检测所述光点图像; 一校正透镜位置存储表26b，用于存储所述将所述色差校正透镜9的位置在关联与每个的多个的表面到所述电平被观察到设置在所述预定的高度差值; 和一个控制部分25连续地进行控制以移动该色差校正透镜9到所述将与所述表面相关联的位置，以被观察到，和以所述样品S之间的相对距离变化和所述所述的基础上的物镜3a由所述光点图像检测装置所检测的结果，作为聚焦所述物镜的焦平面3A所述表面上要用于每个所述的多个的表面观察到以被观察到。版权 : (C)2007，inpit |
微信公众号