| 扫描电子显微镜，其维护\/管理程序，维护\/管理方法，和扫描电子显微镜系统中资源分配方法 |
| JP2006009532 2006-1-18 发明申请 |
| 2007-8-2 |
| 要解决的问题 : 对便于管理\/维护的一种扫描电子显微镜中进行性能评价的一个相对简单的和purposive方式。溶液 : 深度的聚焦(S40，S80)被计算与所使用的一个线图案，以被一标准作为观测数据，和所述计算的聚焦深度被使用作为性能评价的索引(S42，s82)。用于实例，所述计算的聚焦深度的一个值和所述标准的深度的聚焦保持通过一装置32的所述的聚焦深度保持所述的标准值进行比较(s82)，和一个聚焦改变装置，是控制(s84)基于该比较结果。进一步，基于计算出迄今为止的聚焦深度的历史(T1)和新计算的聚焦深度，性能为评估(S42)。在判断到被劣化的情况下，该性能是，一警告被制成以使效应(S64)。它也可能以分配装置配备与性能需要用于每个工艺使用所述扫描电子显微镜。版权 : (C)2007，inpit |
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