| 方法和装置，用于调节自动扫描电子显微镜的电子透镜的轴 |
| JP2006010679 2006-1-19 发明申请 |
| 2007-8-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一种方法和一种装置用于调整的自动电子透镜的轴一种扫描电子显微镜能自动调节的一个轴的所述的电子透镜在高精度。溶液 : 该扫描电子显微镜是由一个电子源1产生的电子束2; 一电容器透镜4的控制电流量所产生的电子束2; 一电容器-镜片-轴校正所述电子束偏转器3设定所述电容器透镜2到所述的轴4; 一偏转器7使该电子束2扫描在样品12被观察到的在二维方向; 一个对象的透镜-轴校正所述电子束偏转器8设定该对象的透镜2到所述轴11; 所述对象的透镜11用于停止向下和所述样品上照射该电子束212到被观察到的; 一种图像获取装置获取一个扫描信号通过检测该样品12被观察到的图像所从所述样品产生的信号12到被观察或与其所吸收的电流; 和一种装置用于处理所获得的扫描信号的图像。版权 : (C)2007，inpit |
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