| 控制装置和控制方法用于使用用于扫描电子显微镜的电子枪或等 |
| JP2006011127 2006-1-19 发明申请 |
| 2007-8-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一种装置和方法能够最佳地设定的偏置电压的一个电子枪，而不需要复杂的操作。溶液 : 在所述的方法从灯丝发射电流控制的所述的电子枪提供与多个所述灯丝之间设置电阻和一个从每个其它Wehnelt电极具有电阻值不同，一个设置，用于将一个加速电压为相同数量的区域的范围为 : 所述的电阻，被接受，和所述电阻器被切换，使得一个具有一电阻值对应的所述加速电压的所述区域的尺寸可以使用该加速电压到所述的区域。版权 : (C)2007，inpit |
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