| 扫描电子显微镜 |
| JP2006012744 2006-1-20 发明申请 |
| 2007-8-2 |
| 要解决的问题 : 提供一种扫描电子显微镜，它是能够高速的焦点对准通过精确，简单; 和一个充电电压的快速自动测量一个样品室中的一晶片的表面，其中晶片的表面示出了不同的充电电压在所述外侧和所述样品室的内部。溶液 : 一个用于施加减速电压的电极板上方设置一样品被分割成两个部分，和所述每个所述分割的电极板的电位被用于测量所述的充电电压改变所述样品从一个两个分割电极板之间的电容。基于所测量的结果，一个光学系统被控制。版权 : (C)2007，inpit |
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