| 电子枪、三维层叠成型装置以及电子显微镜 |
| JP2022082712 2022-5-20 发明申请 |
| 2023-12-1 |
| 要解决的问题：简化用于离子反射器的电压电源的保护电路。 解决方案：电子枪200包括：在加热时释放热电子的阴极101； Wehnelt 102，其中在阴极的尖端处沿着中心轴形成第一开口，并且其通过以比阴极低的电势施加的引出电压来会聚通过第一开口的热电子； 离子反射器103，其中沿着中心轴形成有第二开口，并且其通过施加的离子反射器电压使得从阴极提取的热电子能够作为电子束穿过第二开口； 用于离子反射器的电压电源108，其向离子反射器施加离子反射器电压； 以及安装在离子反射器上的放电装置110。 选图：图6版权：(C)2024, JPO&INPIT |
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