| 为平面图透射电子显微镜提供自动样品制备的系统和方法 |
| US10903367 2004-7-30 发明授权 |
| 2007-7-31 |
| 本发明描述了一种用于提供用于平面图透射电子显微镜的自动样品制备的系统和方法。 从半导体晶片微切割样品晶片并将其安装在第一支撑短柱上。 然后用自动金刚石锯切工具切割样品晶片，以暴露样品晶片的横截面视图。 将样品晶片从第一支撑短截线移除并旋转以定向样品晶片用于平面图成像。 旋转的样品晶片然后被重新安装在第二支撑短截线上，并用自动金刚石锯切工具切割，以暴露旋转的样品晶片的平面图面。 重新安装的样品晶片随后准备用于聚焦离子束(FIB)铣削和平面图透射电子显微镜成像。 |
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