| 手持式电子显微镜 |
| JP2006007482 2006-1-16 发明申请 |
| 2007-7-26 |
| 要解决的问题 : 以产生一图像容易地移动一个护罩中的任意位置的一个抽空与所述护罩在接触状态与一种大尺寸的关于一种手持电子显微镜测试片的制造一非切割图像用于所述大尺寸的测试件。溶液 : 该手持电子显微镜是提供有; 所述护罩具有一个连接开口连接一抽空管进行抽真空并使其内部的排空一圆筒路径，同时密封的一个端而开口的另一端; 一个镜筒用于一小手指型极其紧凑的扫描电子显微镜集成在所述护罩或集成所述部分进行抽真空; 一真空密封机构进行真空密封的被接触与该大尺寸的测试件在一打开部在所述护罩; 一移动机构，它可容易地移动所述护罩到所述大尺寸的测试片在真空密封是携带通过该真空密封机构; 和一个检测器。版权 : (C)2007，inpit |
微信公众号