| 自动聚焦和扫描电子显微镜的方法，其具有所述的自动聚焦功能 |
| KR1020060006742 2006-1-23 发明申请 |
| 2007-7-26 |
| 目的 : 一种自动聚焦方法和一聚焦和扫描电子显微镜具有一自动聚焦功能被提供到通过缩短制造时间降低制造成本的一种半导体装置。结构 : 一焦距范围设定过程是执行，以获得最佳的一测试件中包括的一透镜的评价值和测试样品(S12)。所述测试件是表示作为一个图像放大通过获取一个二次电子的相位从所述测试样品。所述测试样品从所述透镜的距离被测量(S14)。一种校正信息输出过程被执行以位置所述测试样品和所述焦点距离范围内的所述透镜(S16)。一种焦点评价值之间的所述透镜和一个测试显微镜是从一个图像信号输出所获得的测试的样品通过使用所述测试部件(S18，S20)。所述测试样品和所述透镜之间的一聚焦所述的基础上被连续地改变所述校正信息，直到所述焦点评价值成为最大值(S22)。kipo2007 |
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