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扫描电子显微镜

US11655167 2007-1-19 发明申请

2007-7-26

本发明提供一种能够清楚地检测试样中的微观不均匀性的电子显微镜。一种扫描电子显微镜，当来自一对背散射电子检测器的亮度信号由L和R给出时，并且当由S给出来自散射电子检测器的亮度信号时，通过使用L，R和S的一次齐次表达式来计算L的调整值Lc和R的调整值Rc。