| 导电碳纳米管的尖端，扫描探针显微镜的探针包括所述相同的导电碳纳米管和所述的制造方法尖端 |
| KR1020060004170 2006-1-14 发明申请 |
| 2007-7-24 |
| 目的 : 一种导电碳纳米管的尖端，一探头的一个扫描探针显微镜，和一个所述的制造方法导电碳纳米管的尖端被提供到增强所述分辨率和一种装置分析的一个表面的耐久性一个样品通过测量其电特性。构成 : 一种导电碳纳米管的尖端包括一碳纳米管的尖端(20)。和一钌涂布层(30)。所述碳纳米管的尖端是垂直设置到一基板(10)。所述钌涂布层覆盖的所述碳纳米管的尖端表面和在至少一个部分的所述衬底，所述所述钌涂布层的厚度范围从50纳米到100nm。所述钌涂布层是通过一个ald形成过程。所述基板可以被一个半导体衬底，所述半导体衬底是玻璃的形成或合成的树脂。kipo2007 |
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