| 反射镜用于近场光学显微镜光学器件,具有抛物面反射器,其被设置在形成的,其中反射器包括边缘部分; 和聚焦是从另一照明光束的照射路径是不同的光束路径 |
| DE102006002461 2006-1-18 发明申请 |
| 2007-7-19 |
| 它成为一个反射光学系统(10),特别是用于一种近场光学测量的样品(1)描述的,所述一个一个抛物面反射器(11)中形成的与一抛物面轴(12)和一个焦点(13)覆盖,其在第一照明束路径(i)被点亮能,其中所述反射器(11)这样的一种方式中表现出至少一个边缘切口(14)使所述焦点(13)在第二的照明光束路径(ii)被点亮能,其第一照明光束的路径(i)偏离。还具有这样的近场显微镜反射光学系统被描述。 |