显微镜装置
 
JP2005376162  2005-12-27  发明申请

2007-7-12
 
  要解决的问题 : 以容易和可靠地优化所设置的一可变光学单元能够变化的一个光学条件,即使在所述切换的情况下的观察方法通过使用光学部分不预先加载到一个装置。溶液 : 所述的显微镜装置100包括 : photointerrupters35a至35c和霍尔IC板37a到37c用于检测所述式反射镜单元11的光学轴上设置oa2,和还,所述类型的非设置反射镜单元; 一旋转器孔检测部14用于检测所述类型的一物镜透镜6设置在所述的光学轴oa2; 一个光学条件存储表17a,用于存储所述孔径光阑的孔径直径单元10的同时相关所述孔径直径与每个类型的所述镜单元11和每个类型的所述物镜透镜6; 和一个控制部分15用于执行一个控制到开关所述孔径光阑的孔径直径单元10,以所述一个相关的与所述类型的所述镜单元11检测由所述photointerrupters35a至35c和所述霍尔IC板37a到37c和所述类型的所述物镜透镜6通过该旋转器检测到孔检测部14。版权 : (C)2007,inpit
 
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