| 光学显微镜和光谱测量的方法 |
| JP2006247510 2006-9-13 发明申请 |
| 2007-7-12 |
| 要解决的问题 : 以提供一光学显微镜，其可以准确地测量光谱在一短时间，和以提供一个光谱测量所述的方法。溶液 : 该光学显微镜100包括一激光光源10; 一个Y-扫描器13，用于扫描一个光束在y方向; 一物镜透镜21; X-扫描器13，用于扫描一个光束在X方向; 一出射光束从所述样品发射22到所述物镜透镜21之间作为一个不同的波长侧所述光束入射在该样品22，设置在一光学路径，从所述Y扫描器13以该样品22; 用于分离所述光束分束器17，该样品22上从所述激光光源的入射10; 一分光镜31，其具有一入口狭缝30，设置沿一个方向对应于所述Y方向和它使空间上出射光束，通过所述入射狭缝30，根据所述波长; 和一个检测器32用于检测所述出射光束通过所述的分散分光镜31。版权 : (C)2007，inpit |
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