| 一种在超高真空中通过离子溅射处理扫描隧道显微镜针尖的装置 |
| CN202321553263.6 2023-6-17 实用新型 |
| 2023-11-28 |
| 本实用新型涉及一种在超高真空中通过离子溅射处理扫描隧道显微镜针尖的装置。其包括:放置针尖架装置,其垂直方向开有凹槽,可以放置针尖架,内部设有螺柱,螺柱上固定有钽片,钽片下安装有铷铁硼磁铁,用以磁吸住针尖脚,构成电流回路,针尖架放置有针尖一侧朝向钽片,用以导流走轰击过程中积累的氩离子,提升轰击效率;四向夹取装置,其水平方向设置有夹取挡片,竖直方向有两个夹取孔。中部支撑平台,其一端设有螺纹杆;螺纹杆另一端连接底座法兰,可依据需求改变粗螺杆长度和底座法兰即可用在多种扫描隧道显微镜腔体中。本实用新型结构简单,成本较低。 |