| 精细调整装置和扫描探针显微镜 |
| JP2005364881 2005-12-19 发明申请 |
| 2007-7-5 |
| 要解决的问题 : 以解决该问题，其中一个管-型压电元件被损坏的热循环中，在一个扫描探针显微镜或该等。溶液 : 该精细调整装置，用于制造一种压电元件的所述其它端部体进行微动，是配备与所述压电元件本体形成为一圆柱形形状并具有一形成缺口部到一个端部及其，一固定架，其固定所述压电元件的一个端部体和不同的从所述压电元件体中由于温度变化和变形比所述电极提供到所述压电元件体。该变形量之间的差由于温度变化的所述压电元件本体和所述固定支架是由所述压电元件的所述弹性变形吸收体，通过形成该缺口部产生的。版权 : (C)2007，inpit |
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