| 扫描探针显微镜装置，和用于相同的程序 |
| JP2005365355 2005-12-19 发明申请 |
| 2007-7-5 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜装置能够适当地确定的调整灵敏度的程度，即使当所述检查对象具有一个不清楚由于该表面上的不规则轮廓。溶液 : 所述扫描探针显微镜装置包括一扫描控制部24用于往复式和扫描探针附着到一悬臂在所述检查对象，一个高度控制部分基于所述探头26用于控制所述的高度在所述从一个目标值的偏差所述悬臂上的一压紧力的作用，一种表面形状检测部27a用于检测所述上表面形状基于所述扫描线在所述扫描位置信息和高度信息的所述探针，一偏差分布检测部27b，用于确定所述偏差分布在所述扫描线，基于所述扫描位置信息和所述偏差，一显示控制部分29用于覆盖和两个三维地显示所述偏差分布在所述接近所述往复式的路由和返回路由和扫描和叠加和两个三维地显示所获得的表面形状在该方法的路由和返回路由，和一个偏移调整部28用于抵消所述扫描位置信息在所述方法基于路由和返回路由上所述偏移由用户指定的量。版权 : (C)2007，inpit |
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