| 扫描探针显微镜装置 |
| JP2005365356 2005-12-19 发明申请 |
| 2007-7-5 |
| 要解决的问题 : 以提供具有改善的操作性的一个扫描探针显微镜装置当被检查对象是由以接近探针从一排空位置到一适当的位置。溶液 : 所述扫描探针显微镜装置包括一其上安装架11所述检查对象被安装，一探针用于加压和扫描探针显微镜5连接到所述安装架上的一悬臂到所述检查对象11和创建所述检查对象的形状数据表示所述表面形状，和一光学显微镜13，用于拍摄所述检查对象和创建一从所述悬臂的所述背侧看到的显微图像。所述扫描探针显微镜装置包括一个接近控制部112，用于相对移动所述安装支架11和所述悬臂和使所述检查对象和所述探头彼此接近，一个侧视摄像机控制部140用于拍摄所述检查对象和悬臂和创建一个从所述悬臂的一个侧侧看到的视图的图像; 和一种图像处理部30用于处理所述的显微镜图像上和它们的侧视图图像和显示一个监视器31。版权 : (C)2007，inpit |
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