| 显微镜装置 |
| JP2005365582 2005-12-19 发明申请 |
| 2007-7-5 |
| 要解决的问题 : 以提供一显微镜装置，配备有一扫描探针显微镜能够防止所发生的振动的。溶液 : 一种原子力显微镜10和一光学显微镜20被连接到一个显微镜连接件40。所述的显微镜连接件40被保持通过一基座壳体部分50通过弹性构件54a，54b，54c和54d。一个权重W被连接到所述的显微镜连接件40和所述的安装位置的所述权重W被设置，从而以可靠地产生的振动衰减在每个所述的构成元件的考虑所述权重，每个所述的安装位置或所述的等所述的显微镜装置的构成元件。版权 : (C)2007，inpit |
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