| 显微镜装置 |
| JP2005368556 2005-12-21 发明申请 |
| 2007-7-5 |
| 要解决的问题 : 以提供一显微镜装置配备与一个扫描探针显微镜能够防止振动的的一个样品。溶液 : 一种原子力显微镜是配备有一AFM扫描器和样品安装支架。该样品安装支架包括一个运动板，一Z-方向移动机构和一XY方向移动机构30c。该XY方向移动机构30c具有两个电动机Ma，Mb，一个Y-方向移动机构380和一个X-方向移动机构390。一燕尾槽导向系统被用于在所述Y-方向移动机构380和在所述X-方向移动机构390。版权 : (C)2007，inpit |
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