| 使用电子显微镜测量样品的尺寸的方法 |
| JP2007028433 2007-2-7 发明申请 |
| 2007-7-5 |
| 要解决的问题 : 以提供一测量样品的方法，使用一个电子显微镜，其可以进行精确测量该样品的所述特征的尺寸的结构。溶液 : 所述的电子显微镜具有一个物镜15a1b用于连接所述电子束的聚焦点在所述试样，一透镜控制器150aB施加激励电流施加到所述物镜15a1b，和一个主机计算机102其测量的特征结构。所述主机计算机102所述励磁电流变化施加到所述物镜15a1b，测量该尺寸的数据该样品在每个所述特征的结构激励电流施加到所述物镜15a1b，和确定所述dize用于保持数据中所述的波动，其示出了所述变化量所获得的尺寸数据由该测量，其变得小于该预定值作为所述测量该样品的所述特征的结构。版权 : (C)2007，inpit |
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