| 扫描传输电子显微镜和调谐扫描传输电子显微镜的方法 |
| JP2005371291 2005-12-26 发明申请 |
| 2007-7-5 |
| 要解决的问题 : 以使能容易地调整一个电-光系统的一个扫描传输电子显微镜配备与一个像差补偿器。溶液 : 该扫描传输电子显微镜是配备有一电子束源1，一会聚透镜3，一扫描线圈10，一暗场图像检测器16，一种亮场图像检测器17，一个A\/D转换器21和一个信息处理装置24或该等。一个球面像差补偿器7和偏转线圈9a，9b被安装在前步骤的一个物镜前磁场透镜11，一个傅里叶变换的图像是从一个扫描传输由所获得的图像形成暗场图像检测器16或亮场图像检测器17，和一种适当的偏转比是给定的反馈由通过图像产生的像差补偿状态偏差评价移的偏转比9a，9b所述的偏转线圈。版权 : (C)2007，inpit |
微信公众号