| 电子显微镜的真空排气装置 |
| JP2005371861 2005-12-26 发明申请 |
| 2007-7-5 |
| 要解决的问题 : 以提供一真空排气装置用于电子部分与小数量的显微镜和简单结构，能够降低成本的。溶液 : 所述的真空排气装置是由所述的电子显微镜具有一个高真空侧的显微镜体具有一电子枪和一个电子偏转装置和一个样本室壳体一样品，其上的电子束被照射; 一个孔发射电子束，显微镜体和所述样品保持差动的排气压力室通过抑制气体流从所述样品室流动到所述显微镜体 : 一涡轮分子泵具有一个抽吸端口，用于高真空和一抽吸泵用于低真空; 一种高真空排气通道进行通信的所述显微镜体与所述抽吸端口，用于高真空; 和一低真空排气通道进行通信的所述样品室与所述抽吸端口，用于低真空。版权 : (C)2007，inpit |
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