| 显微镜装置 |
| US11558122 2006-11-9 发明申请 |
| 2007-7-5 |
| 本发明提供了一种用于显微镜装置的方法，所述显微镜装置用于任选地通过来自第一方向的至少第一光束束或来自不同于所述第一方向的第二方向的第二光束束来检查样品， 包括显微镜物镜和光束偏转元件， 其中光束偏转元件可借助驱动器操作，以便可选地将第一光束束或第二光束束耦合到显微镜物镜中， 并且其中光束偏转元件可借助于驱动器旋转，以便如果第一光束束耦合到显微镜物镜中，则可选地改变第一光束束从所述光束偏转元件的至少一个出射方向。 |
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