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原子力显微镜的晶片对准级
KR1020050131608 2005-12-28 发明申请
2007-7-3
目的 : 一晶片对准级结构的AFM(原子力显微镜)被提供给重新对齐晶片或一样品在一晶片对准级真空中。结构 : 一晶片对准AFM级的结构包括一对准级; 一手柄,和一表。所述对齐阶段(32)是用于移动和对准一个样品(50)的一个样品晶片。所述手柄(31)被安装在所述对准级,以对准所述样品。该晶片对准级被可执行的一个表面分析的样品在各种角度的。kipo2007
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