| 通过使用扫描探针显微镜方法用于构图 |
| KR1020050132773 2005-12-28 发明申请 |
| 2007-7-3 |
| 目的 : 一图案化方法使用SPM(扫描探针显微镜)被提供以改善图案的能力由于以增加一掩模的选择性和降低的时间通过该SPM或没有光致抗蚀剂的AFM。结构 : 一绝缘层是形成在一衬底。一种电子光束是通过添加一个扫描探针和所述基板之间施加电源电压一个探针(200)之间的SPM和所述基板(110)。所希望的图案被连续写入在该绝缘层通过使用该探针加入所述电源电压。所述衬底被形成图案，其相应于所述图案，kipo2007 |
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