| 扫描探针显微镜 |
| JP2005361260 2005-12-15 发明申请 |
| 2007-6-28 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜例如一种原子力显微镜或等增强在吞吐量作为一个-线通过缩短探针装置的方法中的时间。溶液 : 用于测量所述的表面形状所述扫描探针显微镜样品包括 : 一个高度传感器116用于测量所述表面的高度该样品在一高度的测量位置C分离从一个探针测量位置。通过一距离L; 和一控制装置，用于提高样品台104使用一个结果，其是通过测量获得的所述该样品的表面高度数据的HC在该高度由所述高度传感器116测量位置C和允许该样品的表面到所述高度接近所述的基础上的引出端移数据ΔZ或差--电平数据(rhc-rha)中所述表面之间的所述样品在该高度测量的高度位置和所述表面该样品在所述探头测量的高度位置，以设定该所述表面之间间隔的所述样品在所述探针测量所述探针位置和所述的引导端以一个期望的范围(hg)。版权 : (C)2007，inpit |
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