| 扫描型探针显微镜 |
| WOJP06324723 2006-12-12 发明申请 |
| 2007-6-28 |
| 本发明提供一种原子力显微镜能够增加所述相位检测的速度一悬臂的振动。该悬臂(5)被激励和所述悬臂(5)和一种样品是相对扫描。该悬臂(5)的位移是由一个传感器检测。一振荡器(27)产生一个激励信号的所述悬臂(5)和产生一个参考波信号具有一个基于频率的所述激励信号和一固定相上。根据所述悬臂的振动(5)，一触发脉冲产生电路(41)产生一触发脉冲信号具有根据与所述的振动中的一脉冲位置改变所述悬臂(5)。根据所述参考波信号和所述触发脉冲信号，一个相位信号生成电路(43)产生一个所述参考波的信号对应于所述电平信号在所述脉冲位置作为一振动的相位信号所述的悬臂(5)。作为所述参考波信号，一锯齿波被使用。一相位信号生成电路(43)是形成由采样保持电路。 |
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