| 微机电系统，例如，原子力显微镜，具有应力检测仪连接梁和包括基部和分流部，在导电性的分流器部分上大于基部 |
| FR05012740 2005-12-15 发明申请 |
| 2007-6-22 |
| 系统麦克风-机电包括/理解可变形部分(1)和至少一个检测器decontrainte(10)相互独立的可变形部分。该检测器包括/理解基本部分(2)etune本身的一部分分流(3)并列设置在该可变形部分(1)，和连接(4A～4D)设置pourdétecter修改的电流的分布在基本部分和分流。desmatériaux的基部(2)和分流器(3)并且选择使contactentre上述的电阻部分根据变形而变化。这种系统适于nombreusesapplications，特别是显微镜的臂形成部分与原子力或用于entrerdans的体质生物探测器。 |
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