| 探头，扫描探针显微镜，和制造探针的方法 |
| JP2005305401 2005-10-20 发明申请 |
| 2007-5-10 |
| 要解决的问题 : 以提供一种探针可观察的样品的高灵敏的一种表面形状具有一种高纵横比的不规则性，和能够检测的所述样品的电特性。溶液 : 该探针20被提供有一探头触控笔21具有一尖端部21a的锐化和与一个端部21b形成基本上rodlikely，具有导电性，和所述样品上扫描，悬臂22与所述探针触控笔21提供突出朝向一尖端部22a，和设置有一导线29电连接到所述探针触控笔21，和一主体部分23用于固定overhangingly一个所述的悬臂22的基端部22b以使该尖端部22a为一自由端。所述端部的横截面的形状21b的所述探针触控笔21是一个相当大的C-形具有一中空部30，和与相对于该中心轴是基本上对称的22d的所述探头22。版权 : (C)2007，inpit |
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