| 用于扫描探针显微镜探针和制造相同的方法 |
| JP2005308584 2005-10-24 发明申请 |
| 2007-5-10 |
| 要解决的问题 : 提供一种探针，用于SPM，其可以大批量地生产，和一种方法制造的所述相同的。溶液 : 所述的方法包括步骤 : 制备一半导体衬底1; 用于形成所述探针表面上形成一布线15的所述半导体衬底1通过一个第一层间介电层12和第二层间介电层14; 形成钝化膜16覆盖所述布线15; 形成一通过孔16a; 和形成所述探头5具有一从所述钝化膜16的内侧突出的形状所述通孔通过加热所述半导体衬底4和16a生长部分所述内部布线15在一柱状形状的所述通过孔16a，在该顺序顺序进行的。版权 : (C)2007，inpit |
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