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用於原子力显微镜之探针
TW094101142 2005-1-14 发明申请
2006-7-16
本发明提供一种用於原子力显微镜之探针22,其被调适成於扫描一样本14时会经历一偏压力Fdirect以驱策该探针使其朝该样本移动。此可改良该样本表面的探针追踪效果,并可快速扫描。藉由於该探针22上包含一响应外力的偏压元件24、50与/或降低一支撑梁之品质系数即可加以达成。举例而言,该偏压元件可为一磁铁24或一导电元件50。该品质系数可藉由以一机械能量散逸材料来涂覆该梁加以降低。
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