| 原子力显微镜 |
| JP2004376397 2004-12-27 发明申请 |
| 2006-7-13 |
| 要解决的问题 : 提供一种原子力显微镜，可提高精度的样品中分析时，所述原子力显微镜是使用交流方式。溶液 : 一探针36被形成在所述尖端侧的一悬臂35，从一个大约延伸的板形底座部分34。所述基部34通过一安装装置30被安装到座位部分28提供与一个振荡器26。该探针36扫描样品14，同时通过使该悬臂35垂直振荡的共振振荡所述振荡器26。通过与一个检测器21检测该变化在所述垂直悬臂35的振荡产生由所述该探针36与样品14的接触，所述原子力显微镜13分析该样品14。一基部振荡抑制装置，用于抑制通过所述基部34中产生的谐振振荡的振荡该振荡器26，是提供用于在至少或者所述基部34或所述安装装置30。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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