| 扫描传输电子显微镜，像差测定方法，和像差校正方法。 |
| JP2004367002 2004-12-20 发明申请 |
| 2006-6-29 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描传输电子显微镜可获得一扫描传输的图像具有一个通过确定指定的分辨率像差系数从ronchigram和施加反馈信号的各像差校正到一个装置。溶液 : 在所述扫描传输电子显微镜由一个电子束源的1，一个转换透镜3，一扫描线圈7，一种暗场图像检测装置13，一个A\/D转换器，和一个CPU(21)或等，一种像差校正装置5被安装在一前级的一个物镜前磁场透镜8，和驱动电流每个透镜和所述的像差校正装置通过所述像差决定系数被计算和反馈由一所述的拟合通过一摄像机15和一计算获得的图像ronchigram靠在可选结构。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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