| 低真空扫描电子显微镜测试件和其用于交换的方法 |
| JP2004367827 2004-12-20 发明申请 |
| 2006-6-29 |
| 要解决的问题 : 以提供一种低真空的扫描电子显微镜和其用于交换的方法测试片通过其操作后立即观察的图像是可能的用于该测试片的交换，而不复杂化的一测试件中的真空度的调整控制交换室并同时保持该状态的所述观察测试片不具有所述该测试片交换室中的真空度超过所述的真空度一测试片室中。溶液 : 所述低真空扫描电子显微镜1具有该测试片的交换室40抽真空进行独立通过一个共享的排气装置61，直到所述该测试片交换室40中的真空度达到一交换制备真空度，其是5至10～低于一个设定的真空度当所述测试片被交换。当所述该测试片交换室40中的真空度达到所述交换制备真空度，所述测试件室10被添加到所述测试件中的交换室40连通到所述共享排气装置61，两个室被启动的同时抽真空，通过该排气装置61和两个室被带到所述设置真空度。版权 : (C)2006，膜℃。 |
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