| 扫描探针显微镜的探针具有一场效晶体管的信道和制造方法，其 |
| KR1020040112159 2004-12-24 发明申请 |
| 2006-6-29 |
| 目的 : 一种探针的探针显微镜具有一个FET(场效应晶体管)信道结构被设置，以形成一尖锐的尖端和提高电特性通过制造一平面FET和通过形成一种碳纳米管由所述平面上的导体的FET。结构 : 一半导体衬底上形成一掩模层后(10)，光致抗蚀剂被沉积在所述掩模层和被蚀刻以形成一源\/漏极图案。杂质离子被注入到所述半导体衬底以形成一源\/漏极区和一个沟道区。所述掩模层被蚀刻。一种栅极绝缘层被所述衬底上形成的。一源\/漏极电极图案(60)被形成在所述栅极绝缘层。一源电极(71); 一漏极电极(72)和一栅极电极(80)被形成在所述衬底，以完成一个FET。所述FET为制备到所述的一个部分上生长碳纳米管的栅电极的上部分所述FET，所述碳纳米管是一个部分上形成的所述制备的FET的栅电极。kipo2006 |
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