| 用于确定所述点的形状的工具显微镜具有力的原子 |
| FR05012607 2005-12-13 发明申请 |
| 2007-6-15 |
| 本发明涉及一种用于表征的工具与原子力显微镜的点。一种原子力显微镜à使用勘探的一个非常精细的点放置在所述端部的一弹性梁enporte与位移的伪造和勘探的一个光学系统中所述光束的接触与一浮雕à资源管理器。一个勘探的需要知道该点的形状，和用于这个原因，一个使用一个工具; placé网关中的一种具有原子力显微镜，其已知的形成，使它可能以返回到所述形状的所述点。根据本发明所述工具包括一薄硅梁(50)之间放置两个螺柱(30a，30b)绘制旁，形成一个板上的支撑(40)。所述待测量点所述柱之间移动，同时剩余的encontact与所述光束和所述的测量所述点的位置逐渐所述点的位移允许deretrouver所述的形状。所述非常精细的厚度(低于5纳米)的所述光束允许grandeprécision和一个很大的再现性测量。 |
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